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美國IBSS 等離子清洗

美國IBSS 等離子清洗

 

美國ibss公司由Vince Carlino成立于2002年，該公司持續(xù)致力于等離子清洗設(shè)備的開發(fā)，特別是針對電子束等易產(chǎn)生積碳應用場景下等離子清洗設(shè)備的開發(fā)，其專利的DownStream技術(shù)能夠保證等離子體中不含電荷或離子態(tài)的物質(zhì)存在，從而可以最大程度降低等離子體對樣品表面的損傷，同時能夠保證線性清洗效果，從而滿足定量去除制樣的需求。

該公司產(chǎn)品全球銷售總量超過1000臺，中國地區(qū)知名用戶如：北京大學、上海光源、SMIC、YMTC/XMC、TSMC、Infineon等。

技術(shù)優(yōu)勢

1、采用專利DownStream設(shè)計，等離子體中不含任何電荷及離子態(tài)物質(zhì)，防止對樣品表面的濺射損傷；

2、ICP誘導激發(fā)等離子體，等離子體量大，且作用范圍廣；

3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿；

4、采用Qwk-Switch快接口設(shè)計，等離子發(fā)生器可以直接接入其他真空腔體進行在線清洗，一機多用；

5、清洗功率范圍：10W-99W，樣品清洗艙大?。?/span>7英寸（φ） X 7英寸（H）；

6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；

7、配備真空探測系統(tǒng)，可設(shè)定真空范圍自動進行清洗；

8、清洗速率：1.5nm/min@30W, 清洗去除為線性模式，可定量化去除污染 。

 

美國IBSS 移動式等離子體清洗機

 

 

 

技術(shù)優(yōu)勢

1、采用專利DownStream設(shè)計，等離子體中不含任何電荷及離子態(tài)物質(zhì)，防止對樣品表面的濺射損傷；

2、ICP誘導激發(fā)等離子體，等離子體量大，且作用范圍廣；

3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿；

4、采用Qwk-Switch快接口設(shè)計，等離子發(fā)生器可以直接接入其他真空腔體進行在線清洗，一機多用；

5、清洗功率范圍：10W-99W，樣品清洗艙大?。?/span>7英寸（φ） X 7英寸（H）；

6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；

7、配備真空探測系統(tǒng)，可設(shè)定真空范圍自動進行清洗；

8、清洗速率：1.5nm/min@30W, 清洗去除為線性模式，可定量化去除污染